怎么建造一個百級芯片無塵車間廠房
文章出處：弘煒凈化 人氣：
發表時間：2020-11-19 14:56
芯片制造屬于光電半導體行業，有專門的芯片無塵車間廠房，其生產車間需要達到百級無塵車間。
制造芯片到底有多難？
制作一顆芯片的生產線是非常復雜的，大約會涉及到五十個行業、2000-5000個工序；就拿代工廠來說，需要先將“砂子”提純成硅，再切成晶元，然后加工晶元；晶元加工廠包含前后兩道工藝，前道工藝分幾大模塊——光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入；后道工藝主要是封裝——互聯、打線、密封；光刻是制造和設計的紐帶；其中許多工藝都在獨立的工廠進行，而使用的設備也需要專門的設備廠制造；使用的材料包括幾百種特種氣體、液體、靶材，都需要專門的化工工業；另外，集成電路的生產都是在超凈無塵車間進行的，因此還需要排風和空氣凈化等系統。
潔凈度百級無塵車間的標準：
大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數為0；
微生物最大允許數：浮游菌每立方米不能超過5個；
溫度：22℃±2；
濕度：55%±5；
基本需要滿布FFU，做高架地板；
做MAU+FFU+DC系統，還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右；
百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上；
百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s；
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
制造芯片到底有多難？
制作一顆芯片的生產線是非常復雜的，大約會涉及到五十個行業、2000-5000個工序；就拿代工廠來說，需要先將“砂子”提純成硅，再切成晶元，然后加工晶元；晶元加工廠包含前后兩道工藝，前道工藝分幾大模塊——光刻、薄膜、刻蝕、清洗、注入；后道工藝主要是封裝——互聯、打線、密封；光刻是制造和設計的紐帶；其中許多工藝都在獨立的工廠進行，而使用的設備也需要專門的設備廠制造；使用的材料包括幾百種特種氣體、液體、靶材，都需要專門的化工工業；另外，集成電路的生產都是在超凈無塵車間進行的，因此還需要排風和空氣凈化等系統。
潔凈度百級無塵車間的標準：
大于等于0.5μm的塵粒數大于350粒/m3（0.35粒/L）到小于等于3500粒/m3（3.5粒/L）；大于等于5μm的塵粒數為0；
微生物最大允許數：浮游菌每立方米不能超過5個；
溫度：22℃±2；
濕度：55%±5；
基本需要滿布FFU，做高架地板；
做MAU+FFU+DC系統，還有保持正壓，相鄰房間壓力梯度保證在10pa左右；
百級無塵車間若非得用換氣次數來衡量的話200次/h以上；
百級無塵車間若是以層流風速來說的話>0.35 m/s；
百級無塵車間若以HEPA高效空氣過濾器對吊頂覆蓋率的話>50%。
以上就是芯片無塵車間制造需要達到百給無塵車間的一些基本參數。
弘煒凈化工程專業從事100-30萬級無塵車間廠房裝修，承接芯片無塵車間、半導體無塵車間、氣體激光無塵車間、光學無塵車間等凈化工程。
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